KYKY uppfann den första uppsättningen Turbo Molecular Pump, Commercial Helium Leak Detector och Scanning Electron Microscope i Kina.
På 1970 -talet utvecklade KYKY, SEM -filialen av KYKY framgångsrikt det första svepelektronmikroskopet i Kina.
Sprutbeläggare för SEM-provberedning, icke-ledande provförbehandling.
Medium gas: luft eller argon, med argoninlopp och luftinflationsmikrojusterare. Anpassad tillgänglig, till exempel (utrusta med beläggningstjockleksmätare)
Fördelar:
liten storlek; användarvänlig drift; anpassad till det mesta av metallmålet; Argon -läge tillgängligt.
Specifikationer:
Arbetsrumsdiameter: | 75-150 mm |
Vakuum system | Roterande pump för evakuering, 2L/s |
Avsättningshastighet: | 2-10 nm/min |
Kraft: | 220V/50Hz |
Glasbearbetningskammare | ∮100mm; 130 mm hög. |
Provstegets storlek: | ∮40mm (Håll 6 provkoppar) |
Gyllene målstorlek: | ∮58mm*0,12 mm (tjocklek) |
Vakuumdetektering: | Pirani gage |
Vakuumskydd: | 20 pa med mikroskala uppblåsningsventil |
Medium gas: | Argon eller luft med argongas speciellt luftintag och gasreglering i mikroskala. |
Ansökningar:
Förprov för tillverkning av skanningselektron (kapabelt att sputtra, guld. Silver, koppar, titan och aluminium.)