Magnetiskt leviterad pump, CXF-200/1401E, Vattenkylning, ombord

De magnetiskt leviterade molekylära pumparna är de pumpar vars axel stöds av magnetisk kraft.
Serie magnetiskt leviterade molekylära pumpar är vakuumgenereringsutrustning som utvecklats av KYKY för att uppfylla applikationskraven för områden inom modern halvledartillverkning, spånstillverkning, industriell plätering och vetenskapliga instrument.

Teknik:

• Kontrollteknik för magnetlager: Den antagna elektromagnetiska är en 5-axlig magnetiskt svävande. Denna design kan ha dynamisk respons och snabb justering med hjälp av dynamisk aktiv sluten krets magnetisk fjädringskontrollteknik baserad på avancerad internationell styrteori, för att garantera sådana betydande fördelar med höghastighetsaxeln som en stabil leviterad och tillförlitlig drift.
• Motor Drive Control Technology: Högeffektiv höghastighets DC-motor och servokontrollsystem tillämpas på serie magnetiskt leviterade pumpar, för att få maximal motorenergi och för att automatiskt kompensera axelns rotationshastighet, och därigenom uppnå stabil start, pålitlig drift och automatisk reglering dynamisk energis funktion.
• Kolfiberkompositrotorteknik: Turbo-rotorerna i seriemagnetiska suspensionsmolekylära pumpar tillverkas genom att sammansätta höghållfast aluminiumlegering och lätt kolfiber. I jämförelse med alla aluminiumlegeringsrotorer kännetecknas turbo -rotorerna av stor viktminskning och stor förbättring av hållfastheten, så att mål med hög rotationshastighet, hög prestanda och hög tillförlitlighet uppnås.
• Korrosionsbeständig teknik: Ytor av delar i kamrar i seriemagnetiska suspensionsmolekylära pumpar behandlas med en speciell process, så att ytorna kan motstå korrosion orsakad av frätande gaser i halvledartillverkningsprocesser under lång tid. Dessutom är sådana inerta gaser som N2 helt fyllda i pumpens axel för att skydda de lågvakuumdelarna i pumparna, så att funktionen för stabilt utmattande av korrosiva gaser under långa perioder realiseras.
• Uppvärmningstemperaturkontrollsystem: Serie magnetiskt leviterade molekylpumpar är utrustade med en elektrisk värmare och en temperaturregulator, så att kylvatten, luftbensuppvärmning, elvärme och värme som transporteras av skyddsgaser kan övervakas och kontrolleras under drift, temperaturen i pumparna kan hållas vid något värde för lång sikt, vissa gasformiga ämnen omvandlas inte till fasta ämnen vid normal temperatur och deponeras inte i pumparna, och krav för speciell process såsom etsning kan uppfyllas.

Fördelarna:

1.Noll friktion under drift och låg strömförbrukning

2.Lätt att få riktigt rent högvakuum och ultrahögt vakuum utan smörjning för pumpar

3.Kan extrahera frätande gaser under lång tid

4.Hög säkerhet och lång livslängd på grund av skydd av lager med precision keramiska kulor

5. strömgenererande funktion vid plötslig avstängning

Specifikationer:

Ansökningar:

Serie magnetiskt leviterade molekylpumpar tillämpas huvudsakligen på halvledartillverkning, klipptillverkning, industriell plätering och vetenskapliga instrument, särskilt för extraktion av frätande gaser som finns i ets, CVD, PVD och jonimplantation och gaser som lätt koaguleras vid normal temperatur.