Magnetiskt leviterad pump, CXF-320/3001E, Vattenkylning, ISO-F, ombord

Kort beskrivning:

Det elektromagnetiska lagret kallas också ”aktiva magnetiska leviterade björnar”, bestående av ett magnetlager, en sensor och ett styrsystem. Denna design har dynamisk respons och snabb justering, höghastighetsaxeln och pålitlig drift.


Produktdetalj

Produktetiketter

De magnetiskt leviterade molekylära pumparna är de pumpar vars axel stöds av magnetisk kraft.
Serie magnetiskt leviterade molekylära pumpar är vakuumgenereringsutrustning som utvecklats av KYKY för att uppfylla applikationskraven för områden inom modern halvledartillverkning, spånstillverkning, industriell plätering och vetenskapliga instrument.

Fördelar:

1. Noll friktion under drift och låg strömförbrukning
2. Lätt att förvärva riktigt rent högvakuum och ultrahögt vakuum utan smörjning för pumpar
3. Kan utvinna korrosiva gaser under lång tid
4. Hög säkerhet och lång livslängd på grund av skydd av lager med precision keramiska kulor
5. kraftgenererande funktion vid plötslig avstängning
6. Fri från friktion
7. Fri från föroreningar
8. Fri från underhåll
9. Låg vibration
10. installerad i valfri riktning.

Ansökningar:

Serie magnetiskt leviterade molekylpumpar tillämpas huvudsakligen på halvledartillverkning, klipptillverkning, industriell plätering och vetenskapliga instrument, särskilt för extraktion av frätande gaser som finns i ets, CVD, PVD och jonimplantation och gaser som lätt koaguleras vid normal temperatur.

Specifikationer:

Modell CXF-320/3001E
Pumphastighet (l/s, luft) 3200
Kompressionsförhållande > 1 × 108
Ultimate Vacuum (Pa) ≤5 × 10-7
Inloppsfläns ISO-F 320
Utloppsfläns KF 40
Varvtal (rpm) 24000
Körtid (min) 12
VIB (mm) <0,05
Stödpump (L/s) 15
Montering eller placering Några
Kylmetod Vatten
Vikt (kg) (med styrenhet) 75

Teknik:

  • Kontrollteknik för magnetlager: en 5-axlig magnetiskt svävande, baserad på avancerad internationell kontrollteori, för att garantera sådana betydande fördelar med höghastighetsaxeln som stabil leviterad och pålitlig drift.
  • Motor Drive Control Technology: Högeffektiv höghastighets DC-motor och servokontrollsystem, som har maximal motorenergi och för att automatiskt kompensera axelns rotationshastighet, och därigenom uppnå stabil start, pålitlig drift och automatisk regleringsfunktion för dynamisk energi.
  • Kolfiberkompositrotorteknik: Tillverkad genom att blanda höghållfast aluminiumlegering och lätt kolfiber. kännetecknas av stor viktminskning och stor hållfasthetsförbättring, så att mål med hög rotationshastighet, hög prestanda och hög tillförlitlighet uppnås.
  • Korrosionsbeständig teknik: Ytor av delar i kammare behandlas med en speciell process, så att ytorna kan motstå korrosion orsakad av korrosiva gaser i halvledartillverkningsprocesser under lång tid. Dessutom är inerta gaser som N2 helt fyllda i pumpens axel för att skydda de lågvakuumdelarna i pumparna, så att funktionen för stabilt utmattande av korrosiva gaser under långa perioder realiseras.
  • Uppvärmningstemperaturkontrollsystem: utrustad med en elektrisk värmare och en temperaturregulator, kylvatten, luftbensuppvärmning, elektrisk uppvärmning och värme som transporteras av skyddande gaser kan övervakas och kontrolleras under drift, temperaturen i pumparna kan hållas vid något värde under lång tid, en del gasformiga ämnen omvandlas inte till fasta ämnen vid normal temperatur och deponeras inte i pumparna, och krav för särskild process såsom etsning kan uppfyllas.

  • Tidigare:
  • Nästa:

  • Skriv ditt meddelande här och skicka det till oss

    Produktkategorier