Fördelar:
Denna pumpserie är bra på prestanda under tuffa miljöer (hög temperatur, damm, etc.), stabil i prestanda och med lång livslängd, och enkelt underhåll och bekväm drift också.
Ansökningar:
Huvudapplikationerna är inom industriell läcksökning, PVD, CVD, jonimplantation, tillverkning av vakuumelektroniska komponenter, låg-E-glas, ITO-glas, optisk beläggning, solceller, elektronstrålesvetsning, vakuumugn och andra industrier
Specifikationer:
Fläns (In) | DN400 ISO-K | Gas genom hela (sccm) | N2: 5500 |
Fläns (Ut) KF | DN100 | Han: 4000 | |
Pumphastighet (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Han: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Varvtal (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Körtid (min) | ≤18 | |
Kompressionsförhållande | N2: 108 | Kyltyp, standard | Vatten |
Han: 103 | Kylvattenförbrukning (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Kylvattentemperatur (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Strömanslutning: Spänning (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultimerat tryck (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Effektförbrukning (W) | ≤1100 |
Max. Kontinuerligt förvakuumtryck (Pa) | 100 | Kontrollmodell | FD-III |
Max. Förvakuumtryck | N2: 300 | Vikt (kg) | 130 |